陶瓷材料在電子封裝中具有優(yōu)異的絕緣性、熱穩(wěn)定性和機(jī)械強(qiáng)度,因此被廣泛用于管殼封裝和厚膜電路基板。但裸陶瓷表面并不導(dǎo)電,也不適合作為連接、焊接、鍵合的接觸界面。這時(shí),就需要在其表面構(gòu)建一層金屬化結(jié)構(gòu),而鍍金層往往是最外層,也是電氣、熱學(xué)和化學(xué)性能都非常關(guān)鍵的一層。那么,陶瓷管殼與基板鍍金的目的是什么?結(jié)構(gòu)應(yīng)該怎么選?工藝流程如何安排?關(guān)鍵參數(shù)和風(fēng)險(xiǎn)點(diǎn)又有哪些?
一、為什么要在陶瓷上鍍金?
提供穩(wěn)定可焊、可鍵合的表面
陶瓷本身是絕緣體,必須金屬化后才能進(jìn)行引線(xiàn)鍵合、焊接或錫膏互連。鍍金層可作為金絲鍵合的終端表面,也可兼容共晶焊或回流焊。
提升抗腐蝕性與環(huán)境穩(wěn)定性
金化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定,在高溫、高濕、硫化等環(huán)境中仍能保持良好的表面性能,避免基底金屬氧化、失效。
降低接觸電阻與提升導(dǎo)電性能
相比裸銅或鎳,金表面電阻更低且不易氧化,有助于信號(hào)完整性、微波低損耗和熱導(dǎo)通性能。
增強(qiáng)可靠性和長(zhǎng)期一致性
在軍工、航天、功率器件封裝中,陶瓷基體搭配鍍金能實(shí)現(xiàn)幾十年的穩(wěn)定運(yùn)行,是高可靠封裝的關(guān)鍵路徑。
二、陶瓷種類(lèi)與金屬化基礎(chǔ)
不同種類(lèi)的陶瓷,金屬化方式不同,這也決定了后續(xù)鍍金的可行性與附著路徑。
氧化鋁陶瓷(Al?O?)
最常見(jiàn)的電子陶瓷,表面光潔、硬度高,常配合鎢/鉬錳燒結(jié)工藝或直接濺射金屬化。
氮化鋁陶瓷(AlN)
導(dǎo)熱率更高但更脆,匹配膨脹系數(shù)低,常用于大功率模塊散熱基板,多采用直流濺射或金屬漿料燒結(jié)。
氧化鈹陶瓷(BeO)
熱導(dǎo)率極高,軍用器件常見(jiàn),但有毒性,制造與鍍金需特殊工藝控制。
氮化硅、氧化鋯等復(fù)合陶瓷
新型高強(qiáng)度材料,電氣封裝中逐漸增多,多為定制化工藝體系。
三、金屬化與鍍金結(jié)構(gòu)常見(jiàn)組合
陶瓷表面無(wú)法直接鍍金,必須先進(jìn)行導(dǎo)電金屬化,然后再電鍍金層。常見(jiàn)結(jié)構(gòu)有:
W/Ni/Au 或 Mo-Mn/Ni/Au
適用于高溫共燒陶瓷,先用鎢或鉬錳燒結(jié),燒后再化學(xué)鍍鎳、電鍍金,是軍用管殼的傳統(tǒng)結(jié)構(gòu),附著力強(qiáng),耐熱性好。
TiW/Ni/Au 或 Cr/Ni/Au(濺射種子層)
用于高潔凈、高密度互連結(jié)構(gòu),在陶瓷表面先濺射TiW或Cr做粘結(jié)層,Ni為阻擋與中介層,Au為外層。廣泛用于LTCC、陶瓷BGA、微波模塊。
Ag-Pd/Ni/Au(厚膜電路)
在陶瓷上印刷Ag或Ag-Pd導(dǎo)體,再覆蓋Ni/Au。適用于低成本厚膜線(xiàn)路板,焊接性良好。
Cu/Ni/Au(DPC基板)
直接銅貼附結(jié)構(gòu)(如金屬箔與陶瓷激光鍵合后覆銅),再Ni/Au電鍍,適用于功率封裝、COB模塊等。
四、陶瓷鍍金工藝流程詳解
清洗去污
去除表面有機(jī)物、氧化物或拋光殘留物,使用堿洗、超聲清洗或等離子清洗。
微蝕/活化
對(duì)鎳或銅層進(jìn)行輕微蝕刻,去除表面氧化膜,提升金層附著力。控制時(shí)間避免過(guò)蝕。
預(yù)鍍/置換金(可選)
在部分工藝中,會(huì)采用微量置換金作為“閃鍍”,形成初始附著,提升后續(xù)鍍層連續(xù)性。
電鍍金(主要工藝)
可選軟金或硬金工藝:
軟金(純Au):適用于金絲鍵合、接觸電阻小;
硬金(合金Au):加入Ni或Co等元素,提升耐磨性能,適合接觸或插拔端子。
漂洗與干燥
多段純水漂洗,避免殘留離子;選用熱風(fēng)或真空干燥,避免水漬與污染。
后處理/熱穩(wěn)定(可選)
部分場(chǎng)景會(huì)進(jìn)行低溫烘烤(如150℃以下),以去除吸附水或輕微應(yīng)力釋放。
五、關(guān)鍵技術(shù)指標(biāo)控制點(diǎn)
鍍金厚度
通??刂圃?.8~2 μm;太薄影響可焊/抗蝕性,太厚則增加成本和內(nèi)應(yīng)力。
對(duì)鍵合、微波應(yīng)用,建議≥1 μm軟金;接觸滑動(dòng)用硬金2~3 μm。
鍍層結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性
鎳層≥5 μm可形成有效擴(kuò)散阻擋。
金層需致密、無(wú)孔、不起泡,表面粗糙度受控。
附著力測(cè)試
常用劃格法、剝離試驗(yàn)、鍵合拉力試驗(yàn)等,確保金層在焊接或熱沖擊后無(wú)脫層。
界面清潔度
避免硫化、氯化殘留,選用高純清洗液,封裝過(guò)程應(yīng)無(wú)硫材料接觸(如硫膠、紙板)。
焊接/鍵合性能驗(yàn)證
實(shí)際測(cè)試錫潤(rùn)濕性、金絲拉球拉力等,確保鍍金不僅“金色好看”,還真正“能用、好焊、牢靠”。
六、常見(jiàn)應(yīng)用中的結(jié)構(gòu)示例
陶瓷管殼(功率器件/軍品)
結(jié)構(gòu):Al?O? + Mo?Mn + Ni(7–10 μm)+ Au(1–2 μm)
特性:高溫穩(wěn)定、氣密性好、適用于焊接封裝。
陶瓷基板(功率模塊)
結(jié)構(gòu):AlN + Cu + Ni(8 μm)+ Au(1.5 μm)
特性:導(dǎo)熱性高、表面金層鍵合穩(wěn)定,適合銀燒結(jié)或鍵合互連。
LTCC封裝載板
結(jié)構(gòu):LTCC + TiW(0.1 μm)+ Ni(5 μm)+ Au(1 μm)
特性:適用于倒裝芯片、金絲鍵合、低熱應(yīng)力封裝。
厚膜陶瓷電路板
結(jié)構(gòu):Al?O? + Ag?Pd導(dǎo)體 + Ni(3 μm)+ Au(0.8~1.5 μm)
特性:低成本方案,適用于低頻信號(hào)、電源模塊、LED驅(qū)動(dòng)。
七、常見(jiàn)問(wèn)題與應(yīng)對(duì)建議
金層起泡、脫層
多由前處理不凈、活化不足或基底污染引起。解決辦法:優(yōu)化清洗→活化→預(yù)鍍連貫性,特別注意鎳氧化膜問(wèn)題。
焊接性差、潤(rùn)濕角大
可能因金層過(guò)薄、下層Ni或Cu遷移,或金層已污染。建議控制金厚、確保封存環(huán)境無(wú)硫、驗(yàn)證助焊劑兼容性。
鍵合拉力不達(dá)標(biāo)
軟金不足、鍍層污染、界面夾雜物等都是因素。建議做等離子清洗或氮?dú)獗嵈娣牛苊忾L(zhǎng)期暴露空氣。
金層變色、發(fā)黑
通常為硫化或空氣中雜質(zhì)沉積,包裝、運(yùn)輸和儲(chǔ)存過(guò)程需避免含硫紙箱、橡膠、低質(zhì)泡棉等接觸。
八、成本控制與批量質(zhì)量管控建議
成本主要構(gòu)成:金耗(厚度 × 面積)、電鍍周期、表面處理次數(shù)、良率;軟金成本更高但易加工,硬金則需額外添加劑與控制窗口。
提高良率的方法:優(yōu)化前處理一致性、制定鍍金窗口參數(shù)、批次數(shù)據(jù)記錄和趨勢(shì)監(jiān)控、加強(qiáng)潔凈環(huán)境控制。
檢驗(yàn)策略:制定金厚度測(cè)試頻次(如XRF檢測(cè))、附著力抽檢計(jì)劃、表面缺陷標(biāo)準(zhǔn)圖冊(cè)、鍵合/焊接工藝驗(yàn)證樣件抽樣。
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